无锡展硕科技获得双面镀膜的晶圆镀膜设备专利下降出产所带来的本钱进步出产功率

　　金融界2024年12月6日音讯，国家知识产权局信息数据显现，无锡展硕科技有限公司获得一项名为“一种双面镀膜的晶圆镀膜设备”的专利，授权公告号CN 222100120 U，请求日期为2023年12月。

　　专利摘要显现，本实用新型公开了一种双面镀膜的晶圆镀膜设备，触及晶圆镀膜技术领域，包含：镀膜腔，用于为晶圆供给镀膜时所需的空间；冷却腔，用于为晶圆供给冷却时所需的空间；冷却组织，设于冷却腔内，用于对镀膜后的晶圆进行降温；转移组织，用于将晶圆在镀膜腔与冷却腔之间转移；抓取组织，设于冷却腔内，用于抓取冷却组织上的晶圆；升降组织，用于驱动冷却组织与抓取组织相对运动；旋转组织，用于驱动抓取组织旋转，从而带动晶圆翻面，完成晶圆在冷却腔中被翻面，防止人工和外部设备对晶圆进行翻面作业，下降出产所带来的本钱，进步出产功率，且防止晶圆在镀膜进程中被移出镀膜设备而导致的不可控危险。