微导纳米请求真空镀膜办法专利进步镀膜质量

　　金融界2023年12月23日音讯，据国家知识产权局公告，江苏微导纳米科技股份有限公司请求一项名为“真空镀膜办法“，公开号CN117265511A，请求日期为2023年9月。

　　专利摘要显现，本请求公开了真空镀膜办法。真空镀膜办法有将基材放入工艺腔体；向工艺腔体操控输入已加热的慵懒维护气；至基材被加热至预设温度，在已加热的慵懒维护气和工艺气体之间进行切换、向工艺腔体操控输入工艺气体对基材进行镀膜。经过向工艺腔体内操控输入已加热的慵懒维护气，能够选用已加热的慵懒维护气动态流经工艺腔体以热对流方法对基材加热，不仅仅能够有用缩短将基材加热至预设温度的时刻，进步出产功率，还能够进步加热温度的均匀性，以及削减基材的热敏变形，来提高镀膜质量。