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微导纳米取得发明专利授权:“石墨舟片及石墨舟”

1970-01-01 检验室

  证券之星音讯,依据天眼查APP多个方面数据显现微导纳米(688147)新取得一项发明专利授权,专利名为“石墨舟片及石墨舟”,专利申请号为CN9.9,授权日为2024年11月8日。

  专利摘要:一种石墨舟片,设有硅片掩盖区,所述硅片掩盖区设有多个长条形通孔,所述通孔的宽度≤16mm,由此,可使硅片与石墨舟片贴合严密,一起发生更均匀的电场,可有用处理管式PECVD/PEALD在N型硅片上镀膜均匀性问题且统筹处理反面绕镀问题,处理了当时管式设备针对N型硅片镀膜,如氧化铝以及隧穿氧化层钝化触摸TOPCON电池反面镀氧化硅的质量上的问题。尤其是现在光伏职业往大硅片的方向开展,更突显了镀膜均匀性和质量的重要性,为高效大硅片电池的开展铺平道路。

  本年以来微导纳米新取得专利授权42个,较去年同期增加了44.83%。结合公司2024年中报财务数据,本年上半年公司在研制方面投入了1.21亿元,同比增88.99%。